摘要
现代机械制造工艺对机械加工过程中的表面粗糙度的测量要求日益提高，不仅要保证测量精度，而且要提高测量效率。表面粗糙度测量有接触式和非接触式两种方法。接触式测量仪器稳定性好，示值客观、可靠，使用方便。但是，触针式表面粗糙度测量仪存在着易划伤软性材料表面、易使薄壁试件变形、测量速度低、测量范围小及不易实现自动化在线检测等弊端。而在表面粗糙度的非接触式测量中，光学法是测量的主体，其测量精度高，适合对软材料、易损工件以及某些带有有用信息的表面进行测量，可以较好地弥补触针式表面粗糙度测量仪的不足。目前光学法测量表面粗糙度的仪器有许多种，它们各有特点，但多数只限于在实验室良好环境下使用，能够在现场恶劣环境中对精加工后工件的表面粗糙度值进行在线测量的仪器并不是很多。
