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超精密研磨技术及其发展的研究(上) 被引量:10

Research on the development of ultra-precision lapping and detection technology(1)
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摘要 阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展。最后,介绍精密加工技术的检测设备、仪器。 The lapping mechanics and working characteristics of ultra-precision lapping are presented, then methods and developments about some ultra-precision lapping technologies in China and foreign are discussed, in the end the detection apparatus used in precision working are also introduced.
出处 《现代制造工程》 CSCD 2008年第3期126-128,共3页 Modern Manufacturing Engineering
基金 浙江省科技专项重点资助项目(2006C11069)
关键词 研磨 磨粒 超精密研磨 超精密测量 Lapping Grains Ultra-precision lapping Ultra-precision detection
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