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超纯水处理PLC控制系统设计 被引量:8

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摘要 介绍了基于西门子S7-400系列PLC控制系统在某8英寸晶圆厂超纯水处理系统中的应用,并对其自动控制系统的控制结构和设计、电气设备、在线仪表和系统程序进行了初步阐述。
出处 《电工技术》 2008年第3期32-34,共3页 Electric Engineering
  • 相关文献

参考文献2

  • 1西门子有限公司.S7-400可编程控制器CPU及模板规范手册[M].西门子有限公司,2003.
  • 2西门子有限公司.SIMATIC STEP7 V5.1编程使用手册[M].西门子有限公司,2002.

同被引文献36

引证文献8

二级引证文献21

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