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“叉指”结构微加速度表的设计
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摘要
利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验获得了完整数据。
作者
何晓平
出处
《中国工程物理研究院科技年报》
2006年第1期248-249,共2页
Annual Report of China Academy of Engineering Physics
关键词
加速度表
设计
结构
静电伺服
飞行试验
全量程
重复性
分类号
V217 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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中国工程物理研究院科技年报
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