高g值微冲击开关

冲击开关是感受冲击加速度并输出开关信号的一类惯性器件。采用微机电系统（MEMS）技术设计制作了一种微冲击开关，其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的触点构成，如图1所示。在冲击加速度作用下，质量块与触点碰撞实现开关接通。开关芯片体积为5mm×5mm×0．5mm，动作门限3000g，响应时间84μs，能承受100000g高冲击而不破坏。