含氦钛膜中氦的热解吸

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摘要利用热解吸方法研究在He／Ar复合气氛下，采用磁控溅射法制备的钛膜中氦的热解吸行为，获得了程序升温至1773K的热解吸谱（THDS）。获得的6个不同氦含量样品的THDS谱如图1，图2所示。

作者程贵钧龙兴贵罗顺忠

出处《中国工程物理研究院科技年报》 2006年第1期354-356,共3页 Annual Report of China Academy of Engineering Physics

关键词热解吸钛膜氦磁控溅射法解吸行为程序升温 HE

分类号 O484 [理学—固体物理] X831.02 [环境科学与工程—环境工程]

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