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第十六讲真空系统的操作与维护

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摘要 1.2.3.3 贮气罐小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,贮存扩散泵排出的气体,设置贮气罐的原因有：

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 北大核心 2008年第2期77-79,共3页 Vacuum

关键词真空系统维护操作贮气罐扩散泵真空抽气前级泵设置

分类号 TB752.42 [一般工业技术—真空技术] TK264.11 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]

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真空

2008年第2期

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