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压电控制反射镜
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摘要
PI公司以几个新的大角度产品扩展了S-330高动态压电倾斜平台家族。用于镜子的6个封闭环和开放环直径达到50mm,使光束偏离20mrad,比亚毫秒阶跃响应3kHz震荡频率的20nrad大。它们绕着2个正交轴给顶部平台提供精密的角度倾斜移动,并且它们的平行移动设计为以出色的温度稳定性,来允许自由抖动和多轴平移。产品的典型应用包括光束校正、激光手术、图像稳定和高分辨率显微镜。
出处
《光机电信息》
2008年第3期57-57,共1页
OME Information
关键词
压电
反射镜
控制
平行移动
温度稳定性
阶跃响应
激光手术
高分辨率
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TM38 [电气工程—电机]
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