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亚微纳:用先进技术与客户需求保持同步

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摘要 亚微纳(Aviza)公司在今年的Semicon China展会上重点展出了其ALD、蚀刻、PVD、CVD等设备,这已经是亚微纳连续五年参加Semicon China了。目前,该公司在全球已经安装了约2500台设备系统,而其中有60%是安装在亚洲。
作者 胡芃
出处 《中国集成电路》 2008年第4期37-38,共2页 China lntegrated Circuit

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