摘要
本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统。该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量。
This article established a wafer transport precision detecting system of die bonder by adopting raster rule, data acquisition card and testing soft. With setting proper sample frequency in system operation process, removing redundancy data, obtaining available data and data processing, wafer transport precision detecting is achieved.
出处
《机电工程技术》
2008年第3期20-21,29,共3页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
基金
国家自然科学基金(编号:50475044)
广东省自然科学基金(编号:04300155)
广州市科技项目(编号:2004Z3-D9021)
关键词
XY工作台
光栅尺
数据采集卡
数据处理
送片精度
XY-worktable
raster rule
data acquisition card
data processing
wafer transport accuracy
