金刚石薄膜发展前景被引量：1

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摘要金刚石薄膜发展前景崔万俊近年来，合成金刚石薄膜已经成为世界科技先进国家研究开发的最热门的新材料之一。据日本的有关专家预测：到２０００年，由于半导体领域的大量需求，其市场贸易额将会达到９８０多亿美元。由此可见，金刚石薄膜将会成为下一代电子元器件重要的新...

作者崔万俊

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期11-12,共2页 Semiconductor Technology

关键词金刚石薄膜半导体薄膜技术合成

同被引文献5

1周鹏飞,陈桂莲,张荣福.金刚石薄膜的制备及应用[J].光学仪器,1999,21(4):208-211. 被引量：1
2舒国阳,Ralchenko V.,Bolshakov A.,刘康,孙明琪,姚凯丽,赵继文,高鸽,刘本建,王伟华,李一村,刘雪冬,代兵,朱嘉琦.大尺寸单晶金刚石同质连接技术[J].自然杂志,2019,41(2):100-110. 被引量：5
3王凡生,刘繁,汪建华,鲁振海,王连忠.金刚石半导体器件的研究进展[J].武汉工程大学学报,2020,42(5):518-525. 被引量：7
4吕反修,李成明.我国化学气相沉积(CVD)金刚石膜研究三十年[J].人工晶体学报,2022,51(5):753-758. 被引量：5
5李成明,任飞桐,邵思武,牟恋希,张钦睿,何健,郑宇亭,刘金龙,魏俊俊,陈良贤,吕反修.化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势[J].人工晶体学报,2022,51(5):759-780. 被引量：15

半导体技术

1997年第5期

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