等离子化学气相沉积氮化钛在高速钢精密轴承上的应用

报道了等离子化学气相沉积氮化钛工艺在高速钢精密轴承上的应用。试验结果证明，PCVD－TiN具有良好的表面复形能力和良好的绕镀性。该镀层在200～400℃大气中具有良好的耐蚀和抗热震性能。它可用于高速钢精密轴承等加工精度高的工件的表面处理。