玻璃微型结构产品

如果想把玻璃用在微系统工程中,必须将其制成公差很小的精确规定的结构。采用玻璃生产中通常的浇铸方法,是满足不了这些要求的,而且,难以按理想的尺寸进行机械加工,如钻孔、铣削或抛光。