摘要
纳米检测和纳米计量是一项正在发展的科学技术，文中介绍了利用双探头扫描隧道显微镜与原子力显微镜系统，作纳米计量的技术。
Nanometer testing and metering is a developing scientific technique. A nanometer metering technique using double-probe scanning microscope and atom force microscope is introduced.
出处
《光学仪器》
1997年第4期80-81,共2页
Optical Instruments
基金
国家自然科学基金
省自然科学基金
