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KLA-Tencor公司收购了ICOS
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摘要
KLA-Tencor是一家生产芯片检测和度量系统的半导体公司,近来,它以4.66亿美元的现金收购了ICOS视觉系统公司。
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2008年第4期7-7,共1页
Laser & Optoelectronics Progress
关键词
KLA-Tencor公司
收购
视觉系统
半导体公司
芯片检测
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F271 [经济管理—企业管理]
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参考文献
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0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
KLA-Tencor公司介绍[J]
.电子工业专用设备,2017,0(1):69-72.
2
KLA-Tencor推出最新光罩检测技术[J]
.电子与电脑,2008,8(5):80-80.
3
KLA-Tencor新光罩检测技术可执行多缺陷检测[J]
.电子与电脑,2008,8(10):75-75.
4
KLA-Tencor将光刻覆盖控制扩展到65nm节点以下[J]
.电子工业专用设备,2005,34(8):68-69.
5
KLA-TENCOR推出全新控片检测系统SURFSCAN SP2^(XP) 可加快4X nm以上的芯片生产和3X nm以下的芯片开发[J]
.电子工业专用设备,2008,37(9):75-75.
6
KLA-Tencor推出可解决二次成像挑战的首款计算光刻机[J]
.电子与电脑,2008,8(8):53-53.
7
EDA[J]
.电子设计应用,2005(12):143-144.
8
KLA-TENCOR推出用于测量等离子室效应的PLASMAVOLT X2[J]
.电子工业专用设备,2008,37(11):73-74.
9
KLA-TENCOR首推速度最快电子束检测系统[J]
.电子质量,2003(8):19-19.
10
KLA-Tencor推出达到45nm晶片几何度量要求的解决方案[J]
.电子工业专用设备,2007,36(12):68-68.
激光与光电子学进展
2008年 第4期
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