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30nm真空紫外光源

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摘要 McPherson公司的Model 629是一个无窗口中空阴极源，通过它可以直接观察到负辉光放电。电离气体的发射谱线可以不通过惰性气体吸收而观察到。光源水冷阳极和阴极是电绝缘的。附属不同抽运系统使它在低真空压力下，可与实验系统直接相连。Model 629能运转在不同的惰性气体环境中，

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2008年第4期8-8,共1页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词真空紫外光源 McPherson公司中空阴极实验系统辉光放电气体吸收电离气体真空压力

分类号 TM923.01 [电气工程—电力电子与电力传动] TH744.12 [机械工程—光学工程]

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激光与光电子学进展

2008年第4期

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