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强流离子注入机晶片电荷积累及控制
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摘要
分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理,介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法,并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。
作者
陈林
机构地区
电子工业部第四十八所
出处
《LSI制造与测试》
1997年第3期23-26,35,共5页
关键词
强流离子注入机
电荷积累
晶片
离子注入
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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LSI制造与测试
1997年 第3期
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