磁盘预光刻伺服图形离子刻蚀分析

用离子溅射对磁盘预光刻的何服图形进行干法刻蚀，得到了微米级和亚微米级凹坑的勾槽图形，这对超高记录密度磁盘驱动器的研究具有重要意义。