微机器人技术发展现状

概述 1.自从美国加州大学贝克利分校于1987年首次研制成功Φ60～120μm的静电型微马达以后,近年来的微机械研究(在美国称为MEMS)仍趋上升趋势。据统计,美国国家科学基金会从1988年起开始资助MEMS的基础研究,每年投入200～300万美元。