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流延法制备氮化铝陶瓷基板 被引量:2

Preparation of the AlN Ceramic Substrate by Tape Casting
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摘要 通过对粉料特性、流延工艺、流延带质量、排胶、烧结以及成瓷显微结构的研究,制得了结构均匀无裂纹的生料带,获得了热导率为248 W/mK的高性能氮化铝陶瓷基板。 Blade casting was used for preparing the aluminum nitride sheets. The characteristics of powders, tape casting condition, burning-out and sintering processes were studied. Green sheets with uniform microstructure and high performance aluminum nitride substrates with 248 W/m.K thermal conductivity were obtained.
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期399-402,共4页 Rare Metal Materials and Engineering
关键词 氮化铝基板 流延 高热导 aluminum nitride substrates tape casting high thermal conductivity
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参考文献8

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同被引文献84

引证文献2

二级引证文献11

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