新材料技术领域“大尺寸超高纯铝靶材的制造技术”重点项目申请

1.项目名称 大尺寸超高纯铝靶材的制造技术 2.项目主要研究内容 （1）超高纯度铝原料的制备技术。针对大规模集成电路制造用及TFT-LCD制造用超高纯铝及铝合金靶材的要求，开展化学纯度99.999%-99.9995%的超高纯铝精炼提纯技术研究。