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走在成品率前沿的KLA-Tencor 被引量：1

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摘要 IC制造商在提高盈利水平、缩短产品周期的同时，面临着不断增加的制造复杂性和成品率的压力。如何在重要工艺步骤之后的生产线中集成缺陷检侧和管理的功能？如何在更严苛的设计规则下分类缺陷？这些都是困扰Fab的难题。KEA-Tencor中国技术总监任建宇表示，“在良率管理与工艺控制方面，KLA—Tencor致力于提供最优的成品率解决方案。”

作者王志华

出处《集成电路应用》 2008年第4期13-13,共1页 Application of IC

关键词成品率产品周期工艺步骤设计规则技术总监工艺控制制造商复杂性

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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集成电路应用

2008年第4期

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