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AVIZA多元化从3D封装出发

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摘要 为了进一步提高芯片整合度,3D封装成为近来业者积极投入的重点。AVIZA以其深层蚀刻技术为基础,已开发出完整的制程方案,并将新兴的TSV(Through-Silicon Via,穿透硅通孔)先进封装技术作为公司多元化战略的一个方向。
出处 《集成电路应用》 2008年第4期18-18,共1页 Application of IC
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