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扫描隧道显微镜探针针尖的制作

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摘要 扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。
作者 姜宇 徐送宁
出处 《中国高新技术企业》 2008年第9期87-87,共1页 China Hi-tech Enterprises
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