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扫描隧道显微镜探针针尖的制作
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摘要
扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。
作者
姜宇
徐送宁
机构地区
沈阳理工大学理学院物理教研室
出处
《中国高新技术企业》
2008年第9期87-87,共1页
China Hi-tech Enterprises
关键词
扫描隧道显微镜
针尖
电化学腐蚀法
机诫成形法
粒子束刻蚀法
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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