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CVD ZnS的全球研发现状
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摘要
ZnS作为重要的红外窗口光学材料应用已有40多年。CVD(化学气相沉积)法很快成为生产大尺寸ZnS窗口和头罩的制备工艺。
作者
邓志杰(摘译)
出处
《现代材料动态》
2008年第5期3-6,共4页
Information of Advanced Materials
关键词
ZNS
CVD
研发
化学气相沉积
红外窗口
材料应用
制备工艺
大尺寸
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.25 [电子电信—物理电子学]
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现代材料动态
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