摘要
介绍迈克尔逊干涉仪原理在测微小位移中的应用。确定一种锆钛酸铅镧(PLZT)压电陶瓷的压电常数d(31),得到了一种测d(31)的可行可靠的新方法。
The application of Michelson interference principle in measuring small displacement is introduced. Piezoelectric constant d(31) of a PLZT piezoelectric ceramic is measured. A new method of measuring d(31) is given.
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
1997年第4期30-32,共3页
Journal of Applied Optics
关键词
激光干涉法
压电陶瓷
压电常数
干涉仪
laser interference
piezoelectric ceramic
piezoelectric constant