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激光干涉法测压电陶瓷的压电常数d_(31) 被引量:4

THE MEASUREMENT OF PIEZOELECTRIC CONSTANT d_(31) OF PIEZOELECTRIC CERAMIC WITH LASER INTERFERENCE METHOD
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摘要 介绍迈克尔逊干涉仪原理在测微小位移中的应用。确定一种锆钛酸铅镧(PLZT)压电陶瓷的压电常数d(31),得到了一种测d(31)的可行可靠的新方法。 The application of Michelson interference principle in measuring small displacement is introduced. Piezoelectric constant d(31) of a PLZT piezoelectric ceramic is measured. A new method of measuring d(31) is given.
出处 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第4期30-32,共3页 Journal of Applied Optics
关键词 激光干涉法 压电陶瓷 压电常数 干涉仪 laser interference piezoelectric ceramic piezoelectric constant
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