摘要
在采用双辉光放电实施的离子渗金属加工中，存在强烈的边角效应。从等离子体性能入手，实验研究了这种边角效应，并分析了该种边角效应产生的原因，讨论了它对双辉光放电离子渗金属加工的影响。
There are strong edge effects in the production of element diffusion into metal by double glow discharge. experimental study of edge effect by plasma diagnose is present. The reasons that cause the edge effect are analyzed. The influence othe edge effects on product quality is discussed too.
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期487-490,共4页
Journal of Atomic and Molecular Physics
基金
从图1我们自然可以设想
在阴-源电极之间的中心区由于存在强烈的二次电子反弹和光致电离效应
因而存在着由空心阴极效应所标征的增强型放电
等离子体密度比较高。在阴极以外的空间由于不存在上述空心阴极效应
因而等离子体密度比较低。在从阴-源极中心区向外围区域过渡时
关键词
离子渗金属
等离子体
表面冶金
双辉光放电
Element diffusion into metal Plasma surface metallurgy Double golw discharge
