摘要
报道了用纳米制作技术,实现了InGaAs/InGaAsP环型微腔激光器.激光器的直径为3μm~20μm,环的宽度为0.4μm~3μm,环的厚度为190nm.其激射峰值波长为1403nm.
InGaAs/InGaAsP microring lasers with diameter in the range 3 μm to 20 μm were achieved using nanofabrication techniques. The ring widthes are from 0.4 μm to 3 μm, and the ring thickness is 190 nm. The lasing peak wavelength were measured at 1403 nm.
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期363-365,共3页
Chinese Journal of Luminescence
基金
国家自然科学基金
中国科学院院长基金
中国科学院留学基金
中国科学院重大资助