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Ge_(0.4)Si_(0.6)/Si超晶格光探测器与Si波导的集成探讨:光场分析

Optical Field Analyses of Integration of Silicon Waveguides and Ge_(0.4) Si_(0.6)/Si Superlattice
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摘要 对Ge0.4Si0.6/Si超晶格探测器光场进行了分析,并用京传播法(BPM)进行模拟。还探讨了这种探测器与Si波导的集成。在Si波导满足单模传输的条件下,推出光场在探测器中达稳态分布时的传播距离。另外还提出了这种探测器的设计长度与波导尺寸之间的依赖关系。 The optical field in superlattice photodetector Ge0.4Si0.6/Si is analyzed and has been calculated by the Beam Propagation Method(BPM) in this paper. The possibility of integration of a silicon waveguide and this kind of detector is discussed. On condition that single-mode is propagated in waveguides and detectors,the propagation distance, when it reaches stability, can be calculated. In this paper, the photodetector length versus waveguide parameter is also proposed.
出处 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 1997年第4期384-387,共4页 Research & Progress of SSE
关键词 光波导 光探测器 束传播法 锗硅材料 集成光路 Waveguides Photodetectors BPM GeSi
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