用红外光散射技术测量精加工表面粗糙度参数Ra

MEASUREMENT OF FINE-MACHINED SURFACE ROUGHNESS PARAMETER XT USING INFRARED SCATTERING TECHNIQUE

本文用红外光散射技术,研究了国际上广泛使用的表面粗糙度参数算术平均偏差Ra与散射光强及其角分布统计参数间的相关性。研究表明:粗糙度的高度只影响光在空间的散布范围(高度小,光的散布范围大),不影响相邻散斑间的距离;粗糙度的间距不同时除影响光的散布范围外,还影响相邻散斑间的距离(间距小,散斑间的距离大)。对于很光滑的表面,大部分入射光反射至镜方向。当表面粗糙度增加时,镜方向光强减少;同时光的衍射增加,并且变得更散射了。在0°～180°范围内收集散射光时,光强角分布的方差D与Ra成正比关系;在小于180°的范围内收集散射光时,D与及Ra成抛物线关系。对收集散射光的光纤(与硅光电二极管相连接)