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CrP管线焊道加热影响区抗腐蚀研究

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摘要 CrP管线焊道加热影响区抗腐蚀研究与散装气体交付系统不同,特气的交付系统给半导体工艺带来很多难题。最典型的问题是涉及到特气交付系统有杂质、腐蚀、部件的可靠性、颗粒的产生、系统和设备的寿命等。尽管在腐蚀系统部件的数据可信,且使用寿命易于得到,但造成很大...
作者 陈莉纯
出处 《低温与特气》 CAS 1997年第3期9-11,共3页 Low Temperature and Specialty Gases
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