金刚石合成腔内污染机制研究

本文对金刚石合成腔体中产生白色污染－２ＭｎＯ．ＳｉＯ２复合氧化物形成机制进行了试验，分析与研究，指出水的存在和组装方式是产生污染的主要因素，并提出了避免污染的措施。