第十六讲 真空系统的操作与维护

用扩散泵和涡轮分子泵抽气的真空系统,一般应对任何严重的外部故障或危及真空系统整体的故障作出反应,当故障发生后,应立即关闭所有的阀门而使所有正常工作的泵继续运转。当任何机械真空泵发生驱动故障或放入大气的时候,都应立即断电停泵。后一种情况是由于真空泵的电机容量通常不适于对大气的长时间抽气,否则可能使电机和泵都过热。扩散泵即使没连通到前级泵也能继续运行一段较长的时间,然而,如果在扩散泵工作区域内（泵入口到前级真空阀之间）有漏气,则应将其加热器关掉（但冷却水仍应流通着）。