CS CLEAN SYSTEMS等离子转化系统PIRANHA系列 去除导致全球变暖的全氟碳化气体PFC

半导体行业承诺减少能够导致“温室效应”的全氟碳化物（PFC）的排放,到2010年达到减少排放量90%。大部分半导体制造商已经开始采取措施,以减少全氟碳化物的排放,而减少全氟碳化物排放是总体有害气体减少战略的重要组成部分。