无限微热源合成β-SiC炉内部温度的测量

利用红外线测温仪对炉中心温度进行了直接的测量,研究发现炉心温度上升到一定高度以后基本保持不变,且表面负荷越高炉心温度越高.另外,利用示性物质实现了炉内典型部位温度的测量,这种测温方法简单易行,最后根据测温结果对炉内温度进行了预测。