期刊文献+

SiTime开发新结构MEMS振子

下载PDF
导出
摘要 美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器(硅振荡器)是由利用MEMS技术制造的硅共振结构(振子)和驱动电路等组合构成的,该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子,通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。
出处 《光机电信息》 2008年第5期17-17,共1页 OME Information

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部