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深紫外膜层
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摘要
安捷伦公司提供了一种深紫外镀膜技术,用于高精度光刻机的光学元件方面。据称这种膜层能够提高光学元件的寿命,减少维修及系统的停机时间。
出处
《光机电信息》
2008年第5期64-64,共1页
OME Information
关键词
深紫外
膜层
光学元件
安捷伦公司
镀膜技术
停机时间
光刻机
高精度
分类号
TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]
O734.1 [理学—晶体学]
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