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日开发半导体微细化及微细化替代技术

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摘要 日本的产业技术综合研究所(产综研)于2008年4月1日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化,以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。
出处 《现代材料动态》 2008年第6期24-24,共1页 Information of Advanced Materials

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