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摘要干泵；光刻平台；残留气体分析器；宏观缺陷检测模块；热界面套管。

出处《集成电路应用》 2008年第5期43-44,共2页 Application of IC

关键词产品气体分析器检测模块宏观缺陷

分类号 TH744.41 [机械工程—光学工程] TP393.08 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]

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集成电路应用

2008年第5期

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