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摘要
256位分子日前从中国科学技术大学获悉，中国科学院微电子所纳米加工与新器件集成技术实验室借助中科大国家同步辐射实验室二次X射线光刻工艺，近日成功研制出国内首个256位分子存储器电路。
出处
《自动化博览》
2008年第6期6-6,共1页
Automation Panorama1
关键词
国家同步辐射实验室
中国科学技术大学
分子存储器
中国科学院
光刻工艺
集成技术
纳米加工
X射线
分类号
F416.672 [经济管理—产业经济]
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