摘要
大气压非平衡等离子体源输出的等离子体浓度是电离电场中能耗率、气体粒子动量的的函数.实验表明,等离子体源中的能耗率、气体粒子动量增加时,将大幅度提高其等离子体浓度.当外加激励电场能耗率为2.18W·h/m3、气体粒子平均动量为109×10?22g·m/s时,一个体积仅为2.5cm3的等离子体源处理气量为12m3/h,其输出等离子体浓度达到1010cm?3以上,这将为化学工业、环保工程及军事应用提供小型、低能耗的高浓度等离子体源.
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期1238-1240,共3页
Chinese Science Bulletin
基金
国家自然科学基金(批准号:50578020
50778028)
国家高技术研究发展计划(编号:2008AA06Z317)资助项目
