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镀膜生产线真空室水屏蔽及辊道的检修保养

Maintenance of water shielding and rollers in vacuum chamber on coating line
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摘要 镀膜生产线真空室经过一段生产时间以后,会积累大量的膜层溅射物,主要是在水屏蔽及输送辊道上,真空室的污染严重影响产品质量,必须进行检修保养。 A large amount of sputtered materials will be deposited on the water shielding and rollers in vacuum chamber after long term running of the coating line , which affects product quality significantly and regular maintenance is necessary.
作者 樊幸昌
出处 《玻璃》 2008年第6期42-43,共2页 Glass
关键词 磁控溅射 镀膜玻璃 水屏蔽 辊道 检修保养 magnetron sputtering, glass coat, water shielding, roller, maintenance
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