固态源输运系统推动铪基栅介质的应用
摘要
在生产中引入高介电常数绝缘材料/金属栅电极结构,需要采用全新的制造技术,前驱物和输运系统推动了铪基材料栅极绝缘层的应用。ALD技术也促进了新一代栅电极材料的推广和应用。
出处
《集成电路应用》
2008年第6期18-22,共5页
Application of IC
-
1王刚,杨柏梁,赵超,刘宏宇,黄锡珉.低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究[J].液晶与显示,2000,15(1):28-34. 被引量：2
-
2北京自由电子激光装置的现状及未来发展计划[J].北京同步辐射装置年报,2000(1):269-275.
-
3邸建华.在低压卤素输运系统中ZnS:Mn电致发光薄膜的化学气相沉积[J].液晶与显示,1989,9(4):8-12.
-
4田宗民,陈旭,张金中,张文余,谢振宇,郭建,姜晓辉,闵泰烨.栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究[J].真空科学与技术学报,2014,34(1):32-37. 被引量：4
-
5于遥,张晶思,陈黛黛,郭睿倩,谷至华.PECVD分层结构对提高氢化非晶硅TFT迁移率的影响[J].物理学报,2013,62(13):525-531. 被引量：2
-
6王守坤,袁剑峰,郭会斌,郭总杰,李升玄,邵喜斌.TFT栅极绝缘层和非晶硅膜层的ITO污染对电学特性影响的研究[J].液晶与显示,2015,30(6):930-936. 被引量：1
-
7闫澈,王明秋,张超群,姜秀民.循环流化床锅炉输运系统设计[J].化工机械,2004,31(1):33-36.
-
8陈鲁倬（编译）.双层石墨片中电嗓声的强抑制[J].科学新闻,2008(18):8-8.
-
9刘翔,邓振波,王章涛,崔祥彦,贾勇.有机薄膜晶体管(OTFT)的研究进展[J].现代显示,2007(12):54-60. 被引量：5
-
10代志勇,章文卫,谢字彤,李洪,张开志,章林文,李伟峰,刘承俊,邓建军,丁伯南.神龙1号加速器束流输运系统研制[J].中国工程物理研究院科技年报,2008(1):48-49.
