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闪光退火必须控制界面

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摘要 闪光退火是工艺工程师工具箱中的最新工具。尖峰快速热退火(RTA)方法已经付诸实用,但RTA在限制掺杂物扩散的同时对掺杂物进行活化,闪光退火可以弥补这一缺陷。闪光退火更为精确,在儿毫秒时间内可以将温度升高到约900℃到1300℃,并快速返回到室温,这样造成的扩散几乎可以忽略不计。此外,闪光退火的温度作用时间很短,不会让晶体薄膜变成非晶态,所以在保持沟道应力方面也起到了关键作用。
作者 Laura Peters
出处 《集成电路应用》 2008年第6期I0004-I0004,共1页 Application of IC
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