摘要
本文根据气敏光学特性ＳｎＯ２膜的要求，研究采用可控气压喷涂，然后在高温下热处理成膜的方法，使用的设备及工艺方法简单，膜质量好。
The SnO 2 film forming method according to demand of gas sensitive optical properties is studied that adopt spray with controllable barometric pressure and then heat treatment is on high temperature. The method and equipment both are simple. film is high quality.This is application in the future.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第7期10-12,共3页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家自然科学基金
广东省自然科学基金
关键词
气敏元件
喷涂
热处理
薄膜
二氧化锡
Gas Sensitivity,Spray,Heat Treatment,Film,Optical Properties
