摘要
从2007年到2012年,MEMS(微机电系统)市场的年复合增长率将达到14%。为了满足市场需求,MEMS企业和Foundry(晶圆代工厂)都在提高生产制造水平,扩大自己的产能。而MEMS的制造也将从现在的5英125mm和150mm线向200mm线转移。意法半导体开始应用其200mm制造设施,欧姆龙、飞思卡尔等企业开始购买或建立200mmMEMS生产线。
出处
《电子工业专用设备》
2008年第6期61-62,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing