平面磁研磨使用铁粉混合磨料的研究

使用铁粉混合磨料对硬质材料的平面磁研磨方法，可大幅度提高研磨效率，降低磨料成本，并能得到表面粗糙度Ｒｍａｘ＝０．０５μｍ的超精密研磨的效果。