压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响

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摘要根据高华建的复合弹性模量模型，提出了用一个测点的载荷－位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基合硬度分布的方法，探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响，指出可由膜－基复合能反推膜本身的性能。

作者徐可为陈国良

机构地区西安交通大学金属材料强度国家重点实验室北京科技大学新金属材料国家重点实验室

出处《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期23-28,共6页 Acta Metallurgica Sinica

关键词薄膜硬度弹性模量压痕尺寸效应膜厚

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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