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SPC技术在厚膜混合集成电路工艺中的应用 被引量:4

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摘要 本文较为系统地介绍了SPC技术的基本概念,SPC控制图的选用方法,SPC技术在厚膜混合集成电路(简称HIC)工艺中的应用方法,它包括:确定主要工艺技术参数;HIC加工过程中的数据采集,控制图制作,及对应过程质量控制;过程稳态条件下CPK值的计算,实现与参数化控制相对应的质量评价方式。
作者 侯育增
机构地区 中国兵器工业第
出处 《集成电路通讯》 2008年第2期32-36,共5页
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