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摘要 动态传感器——三维加速仪新的发展机遇;Sensata成功研发新型建筑设备液压系统压力传感器;Europractice IC Service研发MEMS样机。
出处 《微纳电子技术》 CAS 2008年第7期433-434,共2页 Micronanoelectronic Technology
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